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MEMS技術
  • 壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大、質量輕,不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發展,半導體傳感器向著微型化發展,而且其功耗小、可靠性高。
  • 伴隨著MEMS技術和無線通訊技術、傳感器技術的飛速發展,無線傳感器網絡在工業控制、軍事生產、生活、醫療、教育科研中有了更廣泛的應用。為此,論述了在智能家居中一種架構于CC2430芯片基礎上面的無線數據傳輸模塊的設計方法。
  • 射頻(RF)設計目前最強大的趨勢是推動可配置/免頻帶的無線和天線設計。使RF元件可以數位化重新配置的優點與需求逐漸增加,因此能夠精確且數位化地控制頻率和阻抗值,并持續對系統性能進行最佳化。
  • 在二十世紀90年代早期,汽車安全氣囊系統就開始大量采用MEMS加速度計。在其后的十年中,MEMS技術的第二次應用浪潮被掀起。
  • 針對MEMS材料、設計、制造、檢測、工藝、裝備與系統集成等關鍵技術,建立MEMS醫療電子研發體系和產業化基地,圍繞醫療電子開發出若干小批量、多品種、高質量MEMS器件及微系統,推動MEMS的可持續發展和未來產業化的形成打下良好的基礎。
  • MEMS技術是采用微制造技術,在一個公共硅片基礎上整合了傳感器、機械元件、致動器(actuator)與電子元件。MEMS通常會被看作是一種系統單晶片(SoC),它讓智能型產品得以開發,并得以進入很多的次級市場,為包括汽車、保健、手機、生物技術、消費性產品等各領域提供解決方案。