2021年1月19日，國內首臺8英寸PZT壓電薄膜設備落戶上海智能傳感器產業(yè)園超越摩爾研發(fā)中試線，打造基于壓電材料的MEMS先進工藝平臺。該平臺將由國家智能傳感器創(chuàng)新中心(簡稱“創(chuàng)新中心”)和上海微技術工業(yè)研究院共同建設，持續(xù)推進智能傳感關鍵共性技術創(chuàng)新開發(fā)能力。

PZT薄膜壓電MEMS技術是智能傳感器領域的重要發(fā)展方向，是充滿技術多樣性和產業(yè)機會的藍海領域。創(chuàng)新中心的量產型PZT壓電薄膜沉積設備可以實現8英寸晶圓上單晶體PZT薄膜的高質量生長，成膜溫度低(<500℃)，可以滿足CMOS傳感控制電路與MEMS兼容集成制造需求，是與Bosch、Silex等國際主流傳感器生產廠商保持同步的先進裝備。新型壓電MEMS光學、聲學、慣性、微流控等產品，在自動駕駛、消費電子、光通信、醫(yī)療康養(yǎng)、工業(yè)控制等AIoT領域具有廣泛而重要的應用前景。

本次入駐的PZT壓電薄膜沉積設備來自ULVAC，以及來自Oxford Instrument的PZT薄膜刻蝕設備。創(chuàng)新中心持續(xù)穩(wěn)步推進包括設計、仿真、材料、加工、測試等環(huán)節(jié)的高端MEMS工藝平臺能力建設，快速形成一系列相關特色技術模塊和工藝能力，將與產業(yè)鏈上下游共同打造基于壓電薄膜材料的MEMS新器件開發(fā)、新原理探索、新應用驗證的技術平臺，為國內外相關技術和產品開發(fā)提供平臺支撐服務，也將為無鉛壓電材料的薄膜化以及在MEMS方向的應用探索和技術開發(fā)提供平臺支持。

國家智能傳感器創(chuàng)新中心致力于先進傳感器技術創(chuàng)新，以關鍵共性技術的研發(fā)和中試為目標，聯(lián)合傳感器上下游及產業(yè)鏈龍頭企業(yè)開展共性技術研發(fā)，形成“產學研用”協(xié)同創(chuàng)新機制，打造世界級智能傳感器創(chuàng)新中心。依托中國傳感器與物聯(lián)網產業(yè)聯(lián)盟已有近1000家產業(yè)鏈各領域的代表企業(yè)，發(fā)揮產學研資源優(yōu)勢，加速我國物聯(lián)網核心技術的發(fā)展，推動智能傳感、大數據、人工智能的生態(tài)體系建設。