德國(guó)Ortner公司是半導(dǎo)體和制藥工業(yè)用清潔室輸送和物流系統(tǒng)制造商。Ortner公司在計(jì)劃開發(fā)半導(dǎo)體工業(yè)用智能化清潔室貨架系統(tǒng)時(shí)，選用英國(guó)威格斯公司(Victrex plc)的VICTREX PEEK高性能聚合物制造貨架托盤，據(jù)稱在所有的測(cè)試材料中，VICTREX PEEK具有最佳的耐磨損性能。

威格斯公司半導(dǎo)體和顯示產(chǎn)品全球應(yīng)用經(jīng)理Sam Brahmbhatt稱：“每次新一代的新型IC面世，均要求更低的粒子污染，以防止晶圓損耗。在晶圓輸送和處理過程中引入的外部粒子是主要的污染源。許多接觸方式都會(huì)產(chǎn)生磨損粒子，例如在晶圓載體和存儲(chǔ)盒中，粒子的主要是由于晶圓在尖銳對(duì)象上面刮擦、在不銹鋼表面滑動(dòng)、晶圓直接接觸，以及載體和存儲(chǔ)盒相互作用等情況而產(chǎn)生。”

據(jù)介紹，VICTREX PEEK聚合物能夠滿足最嚴(yán)格的清潔室析出物、濕處理、制藥處理和分析化學(xué)應(yīng)用之要求，可以防止無(wú)意中產(chǎn)生的晶圓摻雜和微粒脫落。添加劑、填充物或穩(wěn)定劑等會(huì)在流體中浸出或在真空或高熱環(huán)境中產(chǎn)生煙氣，但VICTREX PEEK聚合物卻完全不含這些成分。Brahmbhatt稱：“此外，VICTREX PEEK具有出色的機(jī)械、化學(xué)、耐熱和磨擦性能，能夠制造出可靠的貨架系統(tǒng)，不但使用壽命長(zhǎng)久，而且可以減少維護(hù)和停機(jī)成本。”

Ortner公司名為AWIC3的貨架系統(tǒng)是以射頻識(shí)別(RFID)技術(shù)為基礎(chǔ)，提供了易于輸送的解決方案，可在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上追蹤每個(gè)晶圓批次。每個(gè)存儲(chǔ)位置都會(huì)與晶圓批次信息自動(dòng)鏈接，當(dāng)操作人員將某批次晶圓隨意放置在貨架位置上時(shí)，專用開關(guān)機(jī)制便會(huì)立即啟動(dòng)RF信息讀入過程。所有數(shù)據(jù)將會(huì)收集于一個(gè)中央數(shù)據(jù)庫(kù)中，方便工作人員在企業(yè)內(nèi)聯(lián)網(wǎng)上任何PC終端機(jī)，通過獨(dú)立操作系統(tǒng)的圖示網(wǎng)絡(luò)界面來查詢數(shù)據(jù)。此外，正確存儲(chǔ)位置的LED燈將會(huì)亮著，讓操作人員知悉該批次晶圓的實(shí)際位置。

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