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光刻技術

上海微系統所研發3D電子束光刻技術可用于智能仿生感知

電子束光刻精度極高，通常是二維微納加工獲得最小尺寸的標準工具，如何把電子束光刻的能力拓展到真三維微納加工是研究的努力方向。

09/02
新型光刻技術解決硅材料脆性難題，MEMS機械性能極限有望突破

據麥姆斯咨詢介紹，硅材料從大自然常見的沙子中取材，成本低、產量大，因此被廣泛用作MEMS器件的襯底材料，并被譽為信息時代的“骨干”材料。

06/22
歐盟研發納米結構傳感器陣列技術獲突破

歐盟研發納米結構傳感器陣列技術獲突破，其利用最先進的納米壓印光刻技術，整合卷到卷生產制造工藝，實現了低成本大批量制造生產大面積NSA的工業流程設計和設備樣機開發，奠定了NSA進一步商業化推廣應用的基礎。

12/04

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